光刻机

网络释义

1.	Mask Aligner 12 光刻机 (Mask aligner) 它是将掩膜版上的图形与前次工序中已刻在硅片上的图形对准后，再对硅片表面的光刻胶进行曝光实 … wenku.baidu.com\|基于41个网页
2.	Stepper 光刻机（Stepper）是制造大规模集成电路的关键设备。2个分类：导航帮助工具其他语言概要 [编辑] 主要厂商 [编辑] 半导体 … zh.wikipedia.org\|基于33个网页
3.	DSW 张凤鸣;;分步重复投影光刻机(DSW)照明光学系统的研制[J];光电工程;1987年04期3 4 张保贵;;显微镜透射式照明光学系统[J];应 … cdmd.cnki.com.cn\|基于18个网页

4.	Lithography System ...ot Plate）、显影机（Developer）、光刻机(曝光机-Lithography System )、紫外线固化机（UV）等，其广泛应用于微电子、 … cn.diytrade.com\|基于15个网页
5.	aligner ...（DUV）、极深紫外光（EUV） IC制造工艺光刻机（aligner）直译为对准器，可见每一层的对准具有很重要的意义光刻机 … www.docin.com\|基于10个网页
6.	Lithography Tool ... 上讲内容：上讲内容：光刻与光刻机对准和曝光在光刻机(Lithography Tool)内进行。 wenku.baidu.com\|基于2个网页
7.	wafer stepper ...光谱，然而热胀问题任然存在，70年代后期出现了部进光刻机（wafer stepper）：硅片移动（步进）到下一个需要被曝光的 … blog.sina.com.cn\|基于2个网页
8.	lithography machine 电器电子词汇英语翻译(H-N) ... lithography 光刻 lithography machine 光刻机 lna 低噪声放大器 ... www.zftrans.com\|基于 1 个网页