随着现代科学技术的发展，薄膜材料的应用越来越广泛。TiN薄膜是一种优异的表面修饰材料，由于其具有较高的硬度和耐磨性能、化学稳定性和高温稳定性、独特的金黄色、低电阻率以及阻挡扩散层性质，广泛应用于涂层领域、微电子领域、镀膜领域及医疗领域 ...