网页英特格 (Entegris)气体扩散器与大多数真空系统的设计可以相容,且易于安装或改装至Load lock腔体,冷却腔体,传输腔体和制程腔体。. 可以在快速破真空至大气压力时,有效防止落尘掉入腔体中。. Chambergard™ Gas Diffusers. Chambergard™ fast …
网页2016年11月9日 · 摘要:. 气体扩散器包含在共用水平面内隔开并相互平行排列的通气管网格,以及与通气管流体连通的歧管. Gas diffuser comprises spaced within a common horizontal plane and are arranged parallel to each other vent grid, …